10−3−10−6 m10^{-3}-10^{-6} \mathrm{~m}10−3−10−6 m
10−8−10−10 m10^{-8}-10^{-10} \mathrm{~m}10−8−10−10 m
10−10−10−14 m10^{-10}-10^{-14} \mathrm{~m}10−10−10−14 m
10−9−10−11 m10^{-9}-10^{-11} \mathrm{~m}10−9−10−11 m
