10−5 m10^{-5} \mathrm{~m}10−5 m
10−11 m10^{-11} \mathrm{~m}10−11 m
10−12 m10^{-12} \mathrm{~m}10−12 m
10−14 m10^{-14} \mathrm{~m}10−14 m